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非標(biāo)陶瓷件都包括哪些,各有什么作用

發(fā)布時(shí)間：2020-09-08

陶瓷棒：
因各個(gè)客戶機(jī)臺(tái)使用上的不同，因此會(huì)延伸出多種不同外觀大小的陶瓷棒。這個(gè)部分皆可根據(jù)各戶的需求進(jìn)行生產(chǎn)。

陶瓷螺絲
半導(dǎo)體以及光電業(yè)機(jī)臺(tái)設(shè)備因會(huì)需使用酸堿性較高的腐蝕性化學(xué)藥劑，機(jī)臺(tái)內(nèi)使用之螺絲也需要考慮到是否可以抗酸堿腐蝕，故許多機(jī)臺(tái)內(nèi)的螺絲都采用陶瓷螺絲。

聚焦環(huán)
主要用在半導(dǎo)體以及光電業(yè)蝕刻機(jī)臺(tái)設(shè)備，所以機(jī)臺(tái)亦長期與化學(xué)藥劑接觸，故此零件大部分廠商會(huì)使用陶瓷或是石英，石英部分較陶瓷不耐碰撞，石英碰撞后容易造成表免剝落狀態(tài)，上機(jī)會(huì)造成問題。故目前所知采用陶瓷的廠商已經(jīng)越來越多。

注入器
在半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)設(shè)備中扮演著化學(xué)氣體輸出入的角色，因?yàn)樗�長時(shí)間都需接觸化學(xué)氣體，故他須要有耐酸堿耐腐蝕的功能，以免因?yàn)樗�的腐蝕造成機(jī)臺(tái)設(shè)備的損傷。工程陶瓷零件的耐腐蝕抗酸堿剛好適合使用。

上下保護(hù)環(huán)
陶瓷本身無磁性之功能正好符合半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)內(nèi)保護(hù)環(huán)防止雜訊干擾使用，因機(jī)臺(tái)所需的尺寸大小不同，尺寸部分也會(huì)因此不同。這個(gè)部分皆可根據(jù)各戶的需求進(jìn)行生產(chǎn)。

機(jī)械手臂
因半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)設(shè)備內(nèi)常使用化學(xué)藥劑，機(jī)臺(tái)設(shè)備所生產(chǎn)之產(chǎn)品又須要可以轉(zhuǎn)送下一站別，故有了機(jī)械手臂這項(xiàng)產(chǎn)品。為了避免機(jī)臺(tái)內(nèi)的化學(xué)藥劑對機(jī)械手臂產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，許多廠商已經(jīng)開始改用陶瓷所生產(chǎn)的機(jī)械手臂。

鐘罩
會(huì)用在反應(yīng)器系統(tǒng)內(nèi)，且電漿或是化學(xué)氣體有時(shí)會(huì)在此停留，故在鐘罩的材質(zhì)使用上需特別注意耐酸堿耐腐蝕，因此目前有許多半導(dǎo)體設(shè)備上所使用之鐘罩采用陶瓷材質(zhì)，鐘罩之外表也可以配合另外覆蓋其他金屬材質(zhì)�；虮舅窘饘夔娬挚勺鎏沾杀砻嫣幚�。

壓緊環(huán)
用于光電業(yè)前段制程機(jī)臺(tái)設(shè)備中，長期會(huì)接觸化學(xué)藥劑，陶瓷材質(zhì)可避免長期接觸化學(xué)藥劑產(chǎn)生腐蝕的現(xiàn)象。

陶瓷長板/邊條/檔板/蓋板
多用于LCD蝕刻機(jī)臺(tái)設(shè)備，機(jī)臺(tái)需長期與化學(xué)藥劑接觸，中間孔洞部分是需鎖螺絲，所以它的材質(zhì)多數(shù)須考量可耐酸堿，抗腐蝕，故目前大多數(shù)都采用陶瓷材質(zhì)。因應(yīng)機(jī)臺(tái)的需求會(huì)產(chǎn)生很多不一樣型式，故我們樣式的陶瓷陶瓷長板/邊條/檔板/蓋板。提供客戶客制化的服務(wù)，可配合生產(chǎn)各式陶瓷或金屬長板陶瓷表面處理。

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